實驗室機器人經(jīng)蒸發(fā)作用后產(chǎn)生的高溫過氧化氫蒸汽不斷的被發(fā)生器噴射出來，直至達(dá)到空間內(nèi)過氧化氫蒸汽飽和狀態(tài)。高溫飽和過氧化氫蒸汽接觸到較冷的被消毒物品表面會達(dá)到微冷凝狀態(tài)，在各種微生物等表面形成微米級的包圍層。過氧化氫分子會與光或者金屬離子反應(yīng)，釋放出強氧化性的自由基，當(dāng)接觸細(xì)胞時會破壞細(xì)胞膜和DNA，自由基會使微生物失活，在極短時間內(nèi)殺死微生物，達(dá)到滅菌效果，自由基可以對微生物達(dá)到6-log的殺滅效果。